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中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心成立于2009年 4月，是中國科學院微電子研究所與嘉興市人民政府共同組建的技術轉移轉化、研發(fā)、中試和高新技術產(chǎn)業(yè)孵化的創(chuàng)新平臺機構。中心位于浙江中科院應用技術研究院園區(qū)9號樓南區(qū)，現(xiàn)有場地面積3000余平方米，其中專業(yè)實驗研發(fā)基地面積1280平方米。現(xiàn)有研發(fā)團隊26人，其中正高級職稱3人，副高級職稱1人，博士4人。工程中心依托中科院雄厚的研發(fā)力量、人才優(yōu)勢和綜合技術實力,立足嘉興，輻射長三角，以應用科學研究為基礎，以技術研究、技術推廣、項目合作、人才培養(yǎng)為合作領域，開展微電子成套設備技術研發(fā)與應用，設立重點實驗室、工程中心和孵化基地，大力推動微電子成套設備技術在地方經(jīng)濟發(fā)展中的作用。已成功開展包含原子層沉積在內的高端半導體裝備項目研發(fā)。近年來，工程中心陸續(xù)承的擔國家科技重大專項子項目《45nm以下顆粒檢測與化學沾污檢測集成系統(tǒng)的研發(fā)》、浙江省科技項目《用于光刻膠抗刻蝕能力強化的連續(xù)滲入合成（SIS）設備及技術開發(fā)》等科研、產(chǎn)業(yè)化項目，取得了豐碩的成果。研發(fā)的ALD設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成為國內首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型，打破了國外設備的壟斷。除了自身科研外，中心依托中心強大的人才隊伍和儀器設備研發(fā)能力，為浙江地區(qū)高校乃至外省高校提供的實習基地和人才培訓服務，滿足了高等學校普遍存在的缺乏將理論與實踐相結合的條件，并獲得了學校的認可和廣泛好評，最大程度的發(fā)揮本工程中心的優(yōu)勢為社會培養(yǎng)更多具有工匠精神的人才。